設(shè)備單工位大口徑快速退火爐特點：

該款設(shè)備是由單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調(diào)速裝置、高真空機組、進出氣口及操作控制界面組成，內(nèi)控?zé)犭娕加糜诳刂芌TP滑軌爐內(nèi)的溫度，伺服電機用于控制絲桿的轉(zhuǎn)動速度達到精確控制爐管（樣品）移除爐膛的速度，從而用于調(diào)節(jié)爐管（樣品）的降溫速度，與之相反可以得到較快的升溫速率；出氣口通過連接手動擋板閥、波紋管用于對石英艙體內(nèi)的真空獲取，進氣口除用于通入保護氣體或反應(yīng)氣體外，還可以用于移出爐膛后通入氣體帶走熱量的快速降溫，以此獲得較高的降溫速率。

單工位大口徑快速退火爐結(jié)構(gòu)與原理：

設(shè)備組成：單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調(diào)速裝置、高真空機組、流量控制系統(tǒng)及工控電腦操作系統(tǒng)。

1、單端封口小型紅外滑軌爐：

該加熱系統(tǒng)采用*制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體爐管可實現(xiàn)自動分離，爐體上下兩半設(shè)計，氣動彈簧支撐結(jié)構(gòu)讓操作者可各角度自由打開，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護涂層，除能夠保持其能量的低損耗，還能增強高溫穩(wěn)定性，可有效減少熱能損耗。

該滑軌爐加熱系統(tǒng)由紅外燈管加熱，采用內(nèi)插熱電偶控溫的方式實時顯示石英腔體內(nèi)部溫度，加熱區(qū)長度為370mm，恒溫區(qū)長度200mm，確保兩個φ100*100mm的夾具可放置在恒溫區(qū)內(nèi)，為讓樣品在爐管內(nèi)的中心位置，考慮石英置物架的高度，石英管管徑綜合考慮在210mm，恒溫區(qū)200mm內(nèi)的溫場均勻性控制在±5℃，升溫速率≤30℃/s, 整個石英腔體直接劃出爐膛，樣品降溫過程可在通入一定量保護氣體的條件下快速降溫，平均降溫速率可達到2℃/s， 試樣反應(yīng)區(qū)處在一個密閉的石英腔體內(nèi)，在完成工藝的同時大大降低了間接污染試樣的可能性。采用石英管堵維持爐內(nèi)的溫場均勻性及石英艙體內(nèi)的潔凈度。

2、電機調(diào)速裝置：

伺服電機調(diào)速裝置用于控制絲桿的轉(zhuǎn)動速度，達到控制爐管部分的整體移動速度（含樣件），以此調(diào)整快速升降溫的目標(biāo)速率，電機旋轉(zhuǎn)速度實時顯示并且精確可控，以獲得精確的移動速度，滿足降溫時工藝參數(shù)要求。

3、主要參數(shù)