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國產(chǎn)高真空機(jī)組

簡要描述:貝意克主要從事實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn),主營各類型箱式爐、管式爐、CVD、PECVD、ALD、PVD磁控濺射、真空鍍膜、薄膜制備、納米材料制備裝備、各種高精度真空箱以及各類非標(biāo)定制,產(chǎn)品領(lǐng)域涉及科研、光電產(chǎn)業(yè)化、半導(dǎo)體、軍工等高科技產(chǎn)業(yè)。公司致力于提供專業(yè)的設(shè)備、技術(shù)和服務(wù),助力全球新材料研發(fā)。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2021-09-28
  • 訪  問  量:1684

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泵軸位置其他葉輪數(shù)目其他
應(yīng)用領(lǐng)域化工,能源,電子,電氣

國產(chǎn)高真空機(jī)組 VAU-05G

  1.技術(shù)指標(biāo):

環(huán)境溫度

5-32℃

空氣相對濕度

≤85%

工作電壓

AC220V±10% 50/60Hz

功率

1KW

系統(tǒng)整體極限真空度

5.0*10-5pa

實(shí)驗(yàn)真空度

5.0*10-3pa

外形尺寸

600*600*650mm

 

  2.主要配置:

主要配置

技術(shù)參數(shù)

機(jī)械泵

抽氣速率:4L/S

容油量:1.1L

電機(jī)功率:400W

極限壓強(qiáng):6×10-2Pa

分子泵

抽氣速率:100L/S

極限壓強(qiáng):6×10-6Pa

啟動時(shí)間:<2min

額定轉(zhuǎn)速:4300轉(zhuǎn)/分

冷卻方式:環(huán)境溫度5-32℃時(shí),風(fēng)冷;5-40℃時(shí),水冷。

分子泵控制器

電壓:220V±22V

啟動電流:≤7A

輸入頻率:47HZ—63HZ

最大輸出功率:≤150W

最大加速電壓:≤40V

加速時(shí)間:≤3min

頻率(雙速):高速705HZ±10HZ

                     低速430HZ±5HZ

復(fù)合真空計(jì)

測量路數(shù):2路(電阻規(guī)、電離規(guī)各1路)

工作模式:手動/自動

電阻單元參數(shù)

測量范圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

控制范圍:2.5×10>3Pa~5.0×10-1Pa

電離單元參數(shù)

可測范圍:5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

控制范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

規(guī)管除氣方式:焦耳去氣

其他參數(shù)

控制路數(shù):4

控制方式:點(diǎn)動或區(qū)域控制/帶掉電記憶

控制精度:±1%

采樣時(shí)間:1S

電源:220V±10% 50HZ

功耗:50W

使用環(huán)境溫度:0℃~45℃

濕度:≤85%

連接管路

采用全不銹鋼,電拋光制作,零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10-9Pa.m3/s


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