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等離子濺射儀

簡要描述:頻率 13.56MHZ
最高輸出功率 100W(300W可以選配)

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2022-08-22
  • 訪  問  量:1671

詳細(xì)介紹

品牌貝意克價(jià)格區(qū)間面議
儀器種類箱式爐產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,能源,電子,電氣,綜合
主要特點(diǎn):

輸入電源

AC220V、50/60HZ

最高輸出功率

100W(300W可以選配)

頻率

13.56MHZ

同調(diào)方式

手動2軸同調(diào)方式(可以選配自動)

靶材

大小2英寸厚度最大5mm

靶頭到基片距離

30mm-100mm

平臺轉(zhuǎn)速

5r/min

反應(yīng)腔室

Φ195*238不銹鋼腔室

填充氣體

氬氣或氮?dú)?/span>

進(jìn)氣口接頭

Φ6卡套接頭

觀察窗尺寸

Φ148

外形尺寸

560*550*600

可根據(jù)客戶要求選配(金銀銅等或氧化物靶材)、泵和冷水機(jī)3000型。

安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,隸屬百思集團(tuán),其平行公司有百思新材料研究院有限公司、合肥萊德裝備技術(shù)有限公司、天津百諾金科技有限公司、合肥歐萊迪光電技術(shù)有限公司、安徽貝意克智能科技有限公司。貝意克公司于2020年在合肥投資5億元新建5萬平米貝意克智能裝備產(chǎn)業(yè)園。設(shè)有貝意克工程設(shè)計(jì)中心,貝意克工程技術(shù)中心,貝意克聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室等研發(fā)公共服務(wù)平臺。

貝意克主要從事實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn),主營各類型箱式爐、管式爐、CVD、PECVD、ALD、PVD磁控濺射、真空鍍膜、薄膜制備、納米材料制備裝備、各種高精度真空箱以及各類非標(biāo)定制,產(chǎn)品領(lǐng)域涉及科研、光電產(chǎn)業(yè)化、半導(dǎo)體、軍工等高科技產(chǎn)業(yè)。

公司致力于提供專業(yè)的設(shè)備、技術(shù)和服務(wù),助力全球新材料研發(fā)。

 

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