簡要描述:頻率 13.56MHZ最高輸出功率 100W(300W可以選配)
產(chǎn)品分類
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品牌 | 貝意克 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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儀器種類 | 箱式爐 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,電氣,綜合 |
輸入電源 | AC220V、50/60HZ |
最高輸出功率 | 100W(300W可以選配) |
頻率 | 13.56MHZ |
同調(diào)方式 | 手動2軸同調(diào)方式(可以選配自動) |
靶材 | 大小2英寸厚度最大5mm |
靶頭到基片距離 | 30mm-100mm |
平臺轉(zhuǎn)速 | 5r/min |
反應(yīng)腔室 | Φ195*238不銹鋼腔室 |
填充氣體 | 氬氣或氮?dú)?/span> |
進(jìn)氣口接頭 | Φ6卡套接頭 |
觀察窗尺寸 | Φ148 |
外形尺寸 | 560*550*600 |
可根據(jù)客戶要求選配(金銀銅等或氧化物靶材)、泵和冷水機(jī)3000型。
安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,隸屬百思集團(tuán),其平行公司有百思新材料研究院有限公司、合肥萊德裝備技術(shù)有限公司、天津百諾金科技有限公司、合肥歐萊迪光電技術(shù)有限公司、安徽貝意克智能科技有限公司。貝意克公司于2020年在合肥投資5億元新建5萬平米貝意克智能裝備產(chǎn)業(yè)園。設(shè)有貝意克工程設(shè)計(jì)中心,貝意克工程技術(shù)中心,貝意克聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室等研發(fā)公共服務(wù)平臺。
貝意克主要從事實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn),主營各類型箱式爐、管式爐、CVD、PECVD、ALD、PVD磁控濺射、真空鍍膜、薄膜制備、納米材料制備裝備、各種高精度真空箱以及各類非標(biāo)定制,產(chǎn)品領(lǐng)域涉及科研、光電產(chǎn)業(yè)化、半導(dǎo)體、軍工等高科技產(chǎn)業(yè)。
公司致力于提供專業(yè)的設(shè)備、技術(shù)和服務(wù),助力全球新材料研發(fā)。
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