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當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > > CVD系統(tǒng) > BTF-1200C-SL-CVD滑軌式CVD石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng)

滑軌式CVD石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:滑軌式CVD石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng)是專(zhuān)為生長(zhǎng)石墨烯、碳納米管研制的生長(zhǎng)專(zhuān)用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn),溫區(qū)可獨(dú)立程序控制,設(shè)備操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下,得到快速的降溫速率。

  • 產(chǎn)品型號(hào):BTF-1200C-SL-CVD
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2021-09-27
  • 訪  問(wèn)  量:1336

詳細(xì)介紹

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設(shè)備滑軌式CVD石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng)特點(diǎn)

此款設(shè)備是專(zhuān)為生長(zhǎng)石墨烯、碳納米管研制的生長(zhǎng)專(zhuān)用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn),溫區(qū)可獨(dú)立程序控制,設(shè)備操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下,得到快速的降溫速率。

1.滑軌式CVD石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng)加熱系統(tǒng)

最高溫度

1200℃

使用溫度

≤1100℃

石英管尺寸

Φ25/φ50/φ60/Φ80/φ100*1400mm

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類(lèi)型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定。

加熱長(zhǎng)度

440mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

200mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相,220V,50Hz


2、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類(lèi)型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

200sccm,500sccm、1000sccm(可根據(jù)用戶(hù)要求定制)

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S

響應(yīng)時(shí)間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6


3、低真空機(jī)組

空氣相對(duì)濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動(dòng)擋板閥與波紋管相連

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