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當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > > CVD系統(tǒng) > BTF-1200C-II-R-CVD連續(xù)進(jìn)出料回轉(zhuǎn)CVD生長(zhǎng)設(shè)備

連續(xù)進(jìn)出料回轉(zhuǎn)CVD生長(zhǎng)設(shè)備

簡(jiǎn)要描述:連續(xù)進(jìn)出料回轉(zhuǎn)CVD生長(zhǎng)設(shè)備爐管可360°旋轉(zhuǎn),有助于粉料的燒結(jié)更均勻,可大角度傾斜,方便進(jìn)出料,傾斜角度在0-35°之間。

  • 產(chǎn)品型號(hào):BTF-1200C-II-R-CVD
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2021-09-27
  • 訪  問(wèn)  量:1505

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域電子,綜合

1、連續(xù)進(jìn)出料回轉(zhuǎn)CVD生長(zhǎng)設(shè)備主要特點(diǎn)

  該設(shè)備爐管可360°旋轉(zhuǎn),有助于粉料的燒結(jié)更均勻,可大角度傾斜,方便進(jìn)出料,傾斜角度在0-35°之間。

  2、設(shè)備組成:加熱系統(tǒng),進(jìn)料系統(tǒng),出料系統(tǒng),氣體控制系統(tǒng),低真空系統(tǒng),爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng),電控操作系統(tǒng)。

  (1)加熱系統(tǒng):

  該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,適合中低溫度加熱系統(tǒng)。

  高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫,電力調(diào)制器控制;負(fù)載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測(cè)溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無(wú)須操作人員的干預(yù),可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號(hào),同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能,大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求。

額定功率

4KW

額定電壓

AC220V  50/60Hz

最高溫度

1200度

使用溫度

1100度

爐管尺寸

Φ60*420*2+Φ100*360mm

 

爐管旋轉(zhuǎn)速率

0~60r/min

爐體傾斜角度

0~35°

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,

操作界面為10"液晶觸摸屏控制

加熱長(zhǎng)度

200mm+200mm

恒溫長(zhǎng)度

250mm

加熱元件

電阻絲

       (2)連續(xù)進(jìn)出料回轉(zhuǎn)CVD生長(zhǎng)設(shè)備進(jìn)料系統(tǒng):

  送料系統(tǒng)速度連續(xù)可調(diào),停止送料且爐體傾斜最大時(shí),物料不會(huì)從送料系統(tǒng)外漏,送料系統(tǒng)方便拆卸,拆卸后可手動(dòng)加料,設(shè)備可正常運(yùn)行。

  (3)出料系統(tǒng):

  出料系統(tǒng)在爐體傾斜出料時(shí)可自動(dòng)出料。

  (4)氣體控制系統(tǒng):

  該控氣系統(tǒng)是可以控制兩種氣體按照不同流量進(jìn)行混合配比的,也可以獨(dú)立控制,質(zhì)量流量計(jì)安裝于密封的可移動(dòng)的機(jī)柜內(nèi),由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

第一路:  200 SCCM

第二路:  500 SCCM

第三路量程可選

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S

響應(yīng)時(shí)間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

       (5)低真空系統(tǒng):

  該系統(tǒng)配備真空機(jī)械泵,可以抽真空,可以讓設(shè)備在真空環(huán)境下進(jìn)行反應(yīng)。

空氣相對(duì)濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動(dòng)擋板閥與波紋管相連  

       (6)爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng):

  爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào),且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。

 

  3.技術(shù)指標(biāo):

  (1)該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn),管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻;

  (2)整個(gè)爐子和送料、收料系統(tǒng)能夠一起傾斜,方便出放料,傾斜角度在0~35°之間可調(diào);

  (3)送料系統(tǒng)送料速度連續(xù)可調(diào),停止送料且爐體最大傾斜時(shí),物料不從送料系統(tǒng)外漏。送料系統(tǒng)方便拆卸,拆卸之后可以手動(dòng)加料,設(shè)備可正常運(yùn)行。

  (4)爐管回轉(zhuǎn)穩(wěn)定,不會(huì)上下左右跳動(dòng);轉(zhuǎn)速在0~60r/min連續(xù)可調(diào),能在60r/min轉(zhuǎn)速下連續(xù)長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)(>24h)。


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