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微型PECVD系統(tǒng)

簡要描述：微型PECVD系統(tǒng)本設(shè)備主要針對(duì)實(shí)驗(yàn)中試石墨烯生長和制備使用，同時(shí)該設(shè)備可以用于碳納米管的生長?？芍苽涑龈哔|(zhì)量的透明導(dǎo)電膜,用作手機(jī)觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：BTF-1200C-S-PECVD
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間：2021-09-30
  • 訪  問  量：4118

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品牌貝意克價(jià)格區(qū)間面議
儀器種類管式爐產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子

微型PECVD系統(tǒng)微型PECVD系統(tǒng)

高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內(nèi)溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫，電力調(diào)制器控制；負(fù)載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無須操作人員的干預(yù)，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號(hào)，同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能，大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求，關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品，做到高性能、免維護(hù)，提高了設(shè)備質(zhì)量的可靠性。               

 1、加熱系統(tǒng)

最高溫度

1200℃

使用溫度

≤1100℃

爐膛有效尺寸

Φ100mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。）

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定。

加熱長度

230mm

恒溫長度

100mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相，220V，50Hz

2、PE射頻電源

功率輸出范圍

0W~500W

最大反射功率

100W

射頻輸出接口

50 Ω, N-type, female

功率穩(wěn)定度

≤5W

諧波分量

≤-50dbc

供電電壓

單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ

整機(jī)效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷

3、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程（N2)

50sccm，100sccm、500sccm（可根據(jù)用戶要求定制）

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S

響應(yīng)時(shí)間

氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍

0.1～0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

4、機(jī)械泵

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105～1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連


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