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石墨烯生長專用設(shè)備
卷對卷
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卷對卷連續(xù)化生長CVD設(shè)備
更新時間:
2024-08-06
型號:
瀏覽量:
1698
此款設(shè)備是快速冷卻卷對卷等離子體增強CVD連續(xù)生長爐,它由高溫生長腔體,質(zhì)量流量計氣路系統(tǒng),真空機組,RF射頻電源模塊,石英管,冷卻裝置,收放卷的密封裝置,自動化控制系統(tǒng)組成,兩端分別安裝有進料進氣真空腔室和出料排氣真空腔室(即收放卷的密封裝置),收放密封裝置內(nèi)分別對應(yīng)安裝有放卷滾輪和收卷滾輪,所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對于現(xiàn)有技術(shù)具有快速冷卻、連續(xù)生長的優(yōu)點。
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