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簡要描述：雙獨立溫區(qū)滑軌爐CVD設(shè)備（可于生長硫化鉬）提供兩個獨立滑動的溫場，兩溫場獨立控制，每個溫場的加熱區(qū)的長度為230mm，可在實驗過程中推進(jìn)或推離樣品，提供兩個位置的快升降溫。
產(chǎn)品型號：BTF-1200C-II-SSL-CVD廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2021-09-27訪 問 量：1402產(chǎn)品分類
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| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
雙獨立溫區(qū)滑軌爐CVD設(shè)備(可于生長硫化鉬)主要特點
1.此款設(shè)備提供兩個獨立滑動的溫場，兩溫場獨立控制，每個溫場的加熱區(qū)的長度為230mm，可在實驗過程中推進(jìn)或推離樣品，提供兩個位置的快升降溫。
2.縱向多接口真空法蘭設(shè)計，各種附加接口具有高度可擴(kuò)展性。航空鋁合金法蘭支架外形美觀，輕便堅固耐腐蝕，安裝調(diào)節(jié)簡便易學(xué)。避免傳統(tǒng)鈑金法蘭支架的安裝調(diào)節(jié)不便，在安裝多種附件時容易導(dǎo)致法蘭偏斜漏氣甚至石英管意外破碎的情況。
3.同時法蘭端采用卡箍密封，這樣就使進(jìn)料出料更加的方便。
4.采用觸摸屏和工控電腦自動控制，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便，參數(shù)自動記錄保持。
5.進(jìn)氣系統(tǒng)可以按照客戶的實驗需求配置幾路質(zhì)量流量計，流量計的量程也可以選擇不同的配置，真空系統(tǒng)也可以根據(jù)客戶的需求選擇配置各種真空泵。
雙獨立溫區(qū)滑軌爐CVD設(shè)備(可于生長硫化鉬)技術(shù)參數(shù)
雙獨立溫場滑軌爐BTF-1200C-II-SSL
| 爐管尺寸：外徑（50mm,60mm,80mm,100mm)可選 加熱元件：電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo） 加熱區(qū)長度：230mm+230mm 恒溫區(qū)長度：80mm+80mm（±1℃） 工作溫度：1100℃ 最高溫度：1200℃ 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 控溫精度：±1℃ 升溫速度：20度/分鐘 爐門結(jié)構(gòu)：開啟式 工作電源：AC220V /50HZ 額定功率：4KW |
供氣系統(tǒng)
| 標(biāo)準(zhǔn)量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm； 準(zhǔn)確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復(fù)精度：±0.2% 響應(yīng)時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa 最大壓力：3MPa 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭Φ6 |
低真空系統(tǒng)
| 空氣相對濕度≤85% 工作電電壓：220V±10% 50~60HZ 功率：1千瓦 抽氣速率：4L/s 極限真空：4X10-2Pa 實驗真空度：1.0X10-1Pa |
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