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當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > > CVD系統(tǒng) > BTF-1200C-II-SL雙溫區(qū)磁力拉桿設(shè)備(固態(tài)源、氣態(tài)源、多源)

雙溫區(qū)磁力拉桿設(shè)備(固態(tài)源、氣態(tài)源、多源)

簡(jiǎn)要描述:雙溫區(qū)磁力拉桿設(shè)備(固態(tài)源、氣態(tài)源、多源)具有兩個(gè)獨(dú)立的溫場(chǎng),溫場(chǎng)之外配有磁力拉桿和石英料舟,并配有內(nèi)探熱電偶,可實(shí)現(xiàn)在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中將固態(tài)源(如硫粉、硒粉等)推進(jìn)熱場(chǎng),并同時(shí)可檢測(cè)溫度。

  • 產(chǎn)品型號(hào):BTF-1200C-II-SL
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2021-09-27
  • 訪  問(wèn)  量:1718

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域電子,綜合

雙溫區(qū)磁力拉桿設(shè)備(固態(tài)源、氣態(tài)源、多源)主要特點(diǎn)

  此設(shè)備具有兩個(gè)獨(dú)立的溫場(chǎng),溫場(chǎng)之外配有磁力拉桿和石英料舟,并配有內(nèi)探熱電偶,可實(shí)現(xiàn)在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中將固態(tài)源(如硫粉、硒粉等)推進(jìn)熱場(chǎng),并同時(shí)可檢測(cè)溫度。

 

  雙溫區(qū)磁力拉桿設(shè)備(固態(tài)源、氣態(tài)源、多源)技術(shù)參數(shù)

BTF-1200C-II-SL

溫場(chǎng)

兩個(gè)獨(dú)立溫場(chǎng)

最高溫度

1200℃

工作溫度

1100℃

推薦升溫速率

10℃/min

爐管

高純度石英管Φ50x1400mm(可根據(jù)要求設(shè)計(jì))

加熱區(qū)長(zhǎng)度

200+200mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

200mm

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

供氣系統(tǒng)

外形尺寸

600x600x650mm

連接頭類(lèi)型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

100sccm、200sccm、500sccm; (可根據(jù)用戶(hù)要求定制);準(zhǔn)確度:±1.5%;線性:±0.5~1.5%;重復(fù)精度:±0.2%

響應(yīng)時(shí)間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

真空機(jī)組

空氣相對(duì)濕度

≤85%

工作電壓

220V±10% 50~60HZ

功率

1千瓦

抽氣速率

10m3/H

極限真空

4X10-2Pa

實(shí)驗(yàn)真空度

1.0X10-1Pa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

轉(zhuǎn)速

1450rpm


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